- XY直交度(mm)
- 0.01
- ストローク(X距離)(mm)
- ±3
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±3
- ストローク(Z距離)(mm)
- 0～5
- 操作位置
- (XY軸)逆サイド
- 質量(kg)
- 0.18
- 種類
- xyzステージ
- 感度
- 0.003mm
- クランプ
- 板クランプ
- 目量
- マイクロメータ式0.01mm
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- 耐荷重(N)
- 14.7
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- XYZ軸3方向
- 送り方式
- (XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)
- 移動ガイド
- XY軸：HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝とクロスローラ
- 移動精度(mm)
- 真直度 XY軸：0.002、Z軸：0.003
- テーブル幅(mm)
- 30
- テーブル長さ(mm)
- 30
- 移動量
- (ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
