接続口径1/4-28UNF質量(g)22電圧(V)DC24ポート数2消費電力(W)(保持時)1、(起動時)3.6材質(シール)FKM使用圧力(MPa)-0.08~0.2作動方式NC(通電時開)形配管方法直接配管形オリフィス径(Φmm)1使用流体水、純水、薬液(接液部の材質を腐食させない流体)材質(ボディ)PEEK耐熱クラスクラス130(B)耐圧力(MPa)(水圧にて)0.4漏れ電流(mA)1.0以下周囲温度および使用流体温度(℃)5~50取付姿勢自在雰囲気爆発性・腐食性雰囲気でないこと弁構造ダイアフラム式直動(ロッカータイプ)弁座漏れ(cm3/min)(水圧にて)0RoHS指令(10物質対応)対応流量特性(CV値)0.03内部ボリューム(μL)19