用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。通信方式(VDC)アナログ:0～5作動圧力(kpa)(最大)400電源電圧±15使用温度範囲(℃)5～50応答時間(秒)≦1流量精度±1(%・F．S)材質Oリング：FKM差圧(kPa[psi])50～300バルブ種類NC継手接続：1/4F900仕様流量(SCCM)窒素：500RoHS指令(10物質対応)対応
