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フロロメカニック

小型ダイヤフラム真空ポンプ

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内容量1台 タイプ高真空型 注文コード37437644 品番FV-60-110
参考基準価格(税別)￥53,760 販売価格(税込) ￥58,278
販売価格(税別)
￥52,980
この商品はタイプなど4種類から選べます 他の種類を見る

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。
クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

消費電力(W)10 吸引圧(kPa)-85(640mmHg)以下 流量(L/min)2.5 タイプ高真空型 質量(kg)1.25 用途フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。 幅(mm)137 高さ(mm)133 奥行(mm)88 定格電圧(V)AC100 使用限界温度(℃)40 騒音値(dB(A))(50/60Hz)0 耐久性耐久時間/9000時間以上

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