XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±12.5ストローク(Y距離)(mm)±12.5ストローク(Z距離)(mm)0～10種類xyzステージテーブル長さ(mm)125テーブル幅(mm)125耐荷重(N)49送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)移動ガイドV溝とクロスローラ操作位置(XY軸)逆サイド質量(kg)5.7感度0.003mmクランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(XY軸)鋼材/硬質黒色クロム、(Z軸)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XYZ軸3方向移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.005移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
