XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±6.5ストローク(Y距離)(mm)±6.5ストローク(Z距離)(mm)0～10種類xyzステージテーブル長さ(mm)40テーブル幅(mm)40耐荷重(N)29.4送り方式CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.43感度0.003mmクランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応操作位置(XY軸)サイド移動方向XYZ軸3方向移動精度(mm)真直度 XY軸0.002、Z軸0.003移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
