- XY直交度(mm)
- 0.02
- ストローク(X距離)(mm)
- ±7.5
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±7.5
- ストローク(Z距離)(mm)
- 0～10
- 操作位置
- (XY軸)サイド
- 質量(kg)
- 1.25
- 種類
- xyzステージ
- 感度
- 0.003mm
- クランプ
- 板クランプ
- 目量
- マイクロメータ式0.01mm
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- 耐荷重(N)
- 49
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- XYZ軸3方向
- 送り方式
- (XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
- 移動ガイド
- XY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球
- 移動精度(mm)
- 真直度 XY軸0.003、Z軸0.008
- テーブル幅(mm)
- 90
- テーブル長さ(mm)
- 90
- 移動量
- (ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
