アウトガスの排出量を極端に抑え、クリーンルーム内での使用を可能にした防振ゴムパッドです。 ※EPDMゴムを原料に、低アウトガス製品技術により排出ガスを100μg/gまで低減することに成功しました。 ※40Hzでは伝播振動タテ成分、ヨコ成分共に0.1M/S2以下を確認。20Hz前後の共振も設置量を適切にすることにより、発現を回避することができます。