エアマイクロセンサ[DPA-SR1/LR1シリーズ]

エアマイクロセンサDPAシリーズは、ワークと治具の「密着確認」が可能な空圧式の高精度センサです。
エアを使用できる環境下であれば、「有り無し確認」だけでなく繰返し精度±0.5μmで「密着確認(浮き)」も同時に確認することが可能。
着座不良による加工不良や設備のダウンタイムの発生防止を実現します。
精密ワークのクランプ・半導体製造プロセス・搬送ラインなど自動化が進む加工プロセスで導入されています。
±0.5μm繰返し精度で切粉の噛み込みによる、治具とワークの着座不良を確実に検知
IP67クーラント保護構造で工作機械内に、センサの設置が可能
エアノズルまでのエア配管短縮で、応答速度が速くなり、生産性が向上
マスタ設定が簡単。
自己診断機能付き。
製造工程の段階で、加工不良の発生を防止