材質弁材：PCTFE、EPDM、その他：C3604B
質量(kg)1.9
材質(本体)C3604B
最大流量(L/min)30(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
使用温度(℃)‐10〜40
接続入口接続：W21-14(左)袋ナット(P)、出口接続：バルブ付Rc1/4
フィルター粗さ：600メッシュ
使用ガスHe用
一次側圧力計(MPa)25
一次側圧力(MPa)2〜15
二次側圧力計(MPa)0.25
二次側圧力(MPa)0.02〜0.6
標準流量(L/min)24(P1=15MPa、P2=0.6MPa N2値)
流れ方向右高圧
材質(ダイアフラム)PTFE+FKM
