質量(kg)0.38材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターPK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm耐荷重(N)(水平)39.2RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)40テーブル長さ(mm)40ストローク(X距離)(mm)±5ストローク(Y距離)(mm)±5モーメント荷重(arcsec/N・cm)1.56
