質量(kg)2材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターTS3664N29E4(多摩川精機：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°、リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm耐荷重(N)(水平)176.4RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100ストローク(X距離)(mm)±12.5ストローク(Y距離)(mm)±12.5モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.06
