質量(kg)5.5材質(本体)鉄種類xyステージモーターPK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm耐荷重(N)(水平)166.6RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100ストローク(X距離)(mm)±12.5ストローク(Y距離)(mm)±12.5モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.03
