質量(kg)0.9材質(本体)アルミ合金種類回転ステージ再現性≦0.002°モーターPK523HPMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.36°、リード線5本)テーブル径(Φmm)-分解能(フル/ハーフステップ)0.001364°/0.000682°、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.0000682°耐荷重(N)(水平)78RoHS指令(10物質対応)対応送り方式タンジェントバー移動ガイドクロスローラベアリング移動量(°)±5テーブル幅(mm)70テーブル長さ(mm)70