質量(kg)1.53材質(本体)アルミ合金種類回転ステージ再現性≦0.002°モーターPK523HPMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.36°、リード線6本)テーブル径(Φmm)-分解能(フル/ハーフステップ)0.001°/0.0005°、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.00005°耐荷重(N)(水平)147RoHS指令(10物質対応)対応送り方式タンジェントバー移動ガイドクロスローラベアリング移動量(°)±5テーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100
