ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3種類xyステージ/傾斜ステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)(水平)49送り方式ボールねじ・リード1mm移動ガイドXY：クロスローラ・θ：クロスローラベアリング質量(kg)1.45材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相，基本ステップ角0.72°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)XY：2μm/1μm、θ： 0.002546°/0.001273°仕上白色センサー型式XY：F-106(HOME， LIMIT)， θ：F-106R(HOME， LIMIT)コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)真直度(μm)(水平)XY：≦ 1/6mm、(垂直)XY：≦ 1/6mm繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5RoHS指令(10物質対応)対応結線V2バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002最高速度(mm/s)XY：10mm/sec ： Half 10kpps θ：12.7°/sec ： Half 10kpps移動量(°)±3ロストモーション(°)θ：≦ 0.005モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.6
