注意
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
【型式説明】
8700/8750/8750MC-O-[接続]-[流体]-[最大流量]-[校正温度]
*校正温度:20℃ or 0℃
【MODEL 8700/8750/8750 SERIES 標準仕様】
センサ方式:熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算):10SCCM〜100SLM
精度:FS±1%以内@25℃、FS±1.5%以内@25℃
入口最大圧0.5MPA(G)
耐圧:1.0MPA(G)
許容周囲温度:5〜45℃
許容周囲湿度:10〜90%RH(結露なきこと)
温度係数:FS±0.1%/℃(15〜35℃)、FS±0.2%/℃(15〜35℃)
接ガス部材質:ボディ…SUS316、SUS316L
シール材…FKM
接続:1/4SW
アナログ信号:0-5VDC(4-20mAに切替可能)
デジタル通信:RS485
所要電源:DC24V±10% 300mA以下