・クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。 手軽にクリーンエアが得られます。・ろ過度：0.01μm(捕集効率99.99%)。・流体接触部：ノングリース、シリコンフリー。・クリーンルーム組付け2重梱包出荷。・24種類の組合せが可能。注)入口空気条件 ISO 8573-1 品質等級 1.4.1～1.6.1相当
