SEMIE84の事前/事後チェックにご利用ください。2種類のアプリケーションソフトにより、搬入前の移載インタロックシミュレーションと稼動後の移載トラブル解決に有効な光通信ログデータをDMGから読み出し、パソコンにタイミングチャートでわかりやすく表示。