用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置にトラスコ品番781-3651幅(mm)210質量(kg)60高さ(mm)324奥行(mm)680仕様サーマルプロテクタなし材質シリンダー：鋳鉄、ポンプケース：アルミ鋳物電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460電源AC到達圧力(Pa)0.67排気速度(50/60Hz)(L/min)670/800使用油R-7吐出口径VG-40特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。吸込口径VG-40ポンプの種類油回転
