- 用途
- 蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
- トラスコ品番
- 781-3678
- 幅(mm)
- 280
- 質量(kg)
- 113
- 高さ(mm)
- 371
- 奥行(mm)
- 831
- 仕様
- サーマルプロテクタなし
- 材質
- シリンダー：鋳鉄、ポンプケース：アルミ鋳物
- 電圧(V)
- (50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
- 電源
- AC
- 到達圧力(Pa)
- 0.67
- 排気速度(50/60Hz)(L/min)
- 1500/1800
- 使用油
- R-7
- 吐出口径
- VG-40
- 特性
- ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
- 吸込口径
- VG-50
- ポンプの種類
- 油回転
