付属品アルミプレート
六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M4 4本
材質アルミ合金/質量(kg)3.5(アルミプレートを除く)耐荷重29.4N(3kgf)繰返し精度(mm)±0.002センサーリミット：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3RoHS指令(10物質対応)対応ステージ寸法(mm)205X183移動方向XY軸2方向移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.015(垂直)移動量(mm)XY軸±50使用モータPK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)(1/10ストローク)X軸0.010、Y軸0.010、(フルストローク)X軸0.040、Y軸0.040ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)16(8，000pps時)送りねじ種類ボールねじ原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
