一次側低圧用標準機種

TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。
組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。
一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
電解研磨仕様品の製作も可能です。(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm)
TORR-30シリーズは一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただけます。