種類傾斜ステージ移動方向傾斜2方向移動量上軸±6°、下軸±5°ステージ寸法(mm)60×60使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分解能上軸0.000512°、下軸0.000415°送りねじリード(mm)0.5移動装置複合カップリング送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ位置決め精度(°)0.03繰返し精度±0.002°高さ(mm)52回転中心96mm(ステージ上面より)ロストモーション(°)0.006耐荷重(N)29.4(3kgf)質量(kg)1.2最高速度(°/s)上軸:2.6、下軸:2.1材質アルミ合金表面処理黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサセンサーノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3アズワン品番64-9483-06RoHS指令(10物質対応)対応
