移動方向傾斜1方向移動量± 5°ステージ寸法(mm)60×60使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)分解能0.000415°送りねじリード(mm)0.5移動装置複合カップリング送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ位置決め精度(°)0.03繰返し精度±0.002°高さ(mm)26回転中心Φ0.05mm(ステージ上面より)ロストモーション(°)0.006耐荷重(N)49(5kgf)質量(kg)0.6最高速度(°/s)2.1材質アルミ合金表面処理黒アルマイト梨地原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサセンサーノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3種類傾斜ステージアズワン品番64-9483-11RoHS指令(10物質対応)対応
