仕様●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●回転中心(ステージ上面より)(mm)：160高さ(mm)ステージ：47備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14種類傾斜ステージ分解能0.002 °適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3耐荷重(N)98(10kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向傾斜1方向送り方式ウォームギヤ移動ガイドV溝とクロスローラモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ロール剛性 0.03使用モータPKP545N18B2移動量(°)± 10位置決め精度(°)0.025ロストモーション(°)0.002最高速度(°/s)16繰返し精度(°)±0.002テーブル幅(mm)125テーブル長さ(mm)125原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
