仕様●リミットセンサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ●原点前センサ：ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ備考QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14種類Zステージ繰返し精度(mm)±0.001平行度(mm)0.05分解能(mm)0.001適合ケーブルACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3耐荷重(N)98(10kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1、ピッチ剛性 1、ロール剛性 0.05移動量(mm)0～40使用モータPKP564FN相当品送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.03ロストモーション(mm)0.002最高速度(mm/s)5(5000pps時)テーブル幅(mm)125テーブル長さ(mm)125原点センサノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
