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XGTP312-50336-2 XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ SMC 69273296

※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください)

XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ

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内容量1個材質(シール)Kalrez4079仕様ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(-) なし注文コード69273296品番XGTP312-50336-2

参考基準価格(税別)￥921,360販売価格(税込)￥912,780

販売価格(税別)

￥829,800

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長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用

材質(シール)Kalrez4079バルブ形式(2) カセット式 (標準ボデイ)オートスイッチ種類オートスイッチ:なし；コネクタ種類:なしエンドロック(-) OPEN/CLOSE エンドロック仕様ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(-) なし適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ

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