使用温度範囲(℃)5~60質量(g)10寸法A(mm)3.6耐圧力(MPa)1.5使用流体空気制御方式メータアウト有効断面積(mm2)(制御流れ)1.2、(自由流れ)0.9流量(L/min)(制御流れ)87、(自由流れ)62使用圧力範囲(MPa)0.1~1推奨チューブナイロンチューブ(N2シリーズ)、ウレタンチューブ(TEシリーズ)接続口径M5×0.8適合チューブ外径(Φmm)6寸法P(Φmm)12.5寸法L1(mm)11.4寸法L2(mm)27.1(min.)、29.1(max.)寸法E1(mm)22.7寸法E2(mm)5基準径の位置(a)(mm)-チューブ挿入長さ(mm)16.4二面幅H(mm)8寸法M(Φmm)6寸法N(Φmm)8