専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。モーメント荷重や複合荷重に強い構造は、ピッチング、ローリング、ヨーイングの影響を受けにくく、高剛性、高精度での位置決めが可能です。コンパクトスケールを内蔵していますが、同移動量の場合OSMSシリーズと設置スペースは変わりません。