- 種類
- xステージ
- テーブル長さ(mm)
- 50
- テーブル幅(mm)
- 60
- 耐荷重(N)
- 147(15kgf)
- 送り方式
- ボールネジ
- リード(mm)
- 1
- 移動ガイド
- 精密クロスローラガイド
- 材質
- アルミ合金
- 色
- 白色仕上げ
- 勝手
- SXA0530-R01-R
- 有効移動範囲(mm)
- ± 15
- 分解能(μm)
- フル/ハーフ:1/0.5、マイクロステップ (1/20分割):0.05
- 最高速度(mm/s)
- 10(Half 20kpps)
- 誤差(μm)
- ≦ 8
- 誤差(mm)
- 30
- 繰返し精度(μm)
- ≦±0.3(位置決め)
- ロストモーション(mm)
- ≦ 0.0015
- 真直度(μm)
- 水平:≦ 1.5、垂直:≦ 1.5
- 真直度(mm)
- 水平/垂直:30
- バックラッシュ
- ≦0.2μm
- モーメント荷重(arcsec/N・cm)
- 0.12
- 自重(kg)
- 0.53
- 使用モータ
- 5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK523HPMB)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP225D15B2)、モーター軸径:Φ5mm オプションハンドル: A type
- コネクタ形状
- 丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
- センサー型式
- F-115R(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115(HOME、LIMIT)