種類xyステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)60耐荷重(N)142(14.5kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイド精密クロスローラガイド材質アルミ合金色白色仕上げ勝手SYA0530-R01-RRR有効移動範囲(mm)± 15分解能(μm)フル/ハーフ:1/0.5、マイクロステップ (1/20分割):0.05最高速度(mm/s)10(Half 20kpps)誤差(μm)≦ 8誤差(mm)30繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)ロストモーション(mm)≦ 0.0015真直度(μm)水平:≦ 1.5、垂直:≦ 1.5真直度(mm)水平/垂直:30バックラッシュ≦0.2μmモーメント荷重(arcsec/N・cm)0.35自重(kg)1.06使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK523HPMB)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP225D15B2)、モーター軸径：Φ5mm オプションハンドル： A typeコネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)センサー型式F-115R(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115(HOME、LIMIT)
