種類xyステージテーブル長さ(mm)75テーブル幅(mm)100耐荷重(N)186(19kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイド精密クロスローラガイド材質アルミ合金色白色仕上げ勝手SYA0750-R01-RRR有効移動範囲(mm)± 25分解能(μm)フル/ハーフ:1/0.5、マイクロステップ (1/20分割):0.05最高速度(mm/s)10(Half 20kpps)誤差(μm)≦ 12誤差(mm)50繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)ロストモーション(mm)≦ 0.001真直度(μm)水平:≦ 1.5、垂直:≦ 1.5真直度(mm)水平/垂直:50バックラッシュ≦0.2μmモーメント荷重(arcsec/N・cm)0.13自重(kg)1.9使用モータ5相ステッピングモーター (オリエンタルモーター: PK524HPMB)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP225D15B2)、モーター軸径：Φ5mm オプションハンドル： A typeコネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)センサー型式F-115(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115R(HOME、LIMIT)
