種類xyステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)120耐荷重(N)324(33kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイド精密クロスローラガイド材質アルミ合金色白色仕上げ勝手SYA1075-R01-RRR有効移動範囲(mm)± 37.5分解能(μm)フル/ハーフ:2/1、マイクロステップ (1/20分割):0.1最高速度(mm/s)20(Half 20kpps)誤差(μm)≦ 14誤差(mm)75繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)ロストモーション(mm)≦ 0.001真直度(μm)水平:≦ 2、垂直:≦ 2真直度(mm)水平/垂直:75バックラッシュ≦0.2μmモーメント荷重(arcsec/N・cm)0.05自重(kg)3.6使用モータ5相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: C090P-9015P)、2相ステッピングモーター(オリエンタルモーター: PKP244D15B)、モーター軸径：Φ5mm オプションハンドル： A typeコネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)センサー型式F-115(HOME、LIMIT)/勝手違い: F-115R(HOME、LIMIT)
