測定範囲(mm)12分解能(μm)0.1精度(μm)1p-p測定力(N)上方位:0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位:0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位:0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧0.055MPaの時最大応答速度(m/min)80出力専用シリアル通信プロトコル駆動方式【スピンドル】バネ押出し/真空引き込み保護等級ストレートタイプ:IP67、ライトアングルタイプ:IP64 (IP67 ※)耐振動(m/s2)100(20~2000Hz)耐衝撃(m/s2)1000(11ms)使用温度範囲(℃)0~50(結露無き事)保存温湿度範囲-20~60℃/90%RH以下電源電圧(V)DC10~30リップル(p-p)10%含む消費電力(W)1.2以下質量(g)約30ケーブル長(m)2(プローブ部)・最大20(出力)※別売のCE34シリーズをご使用ください測定子超硬合金球面付 取付ねじ M2.5付属品取扱説明書、スパナ 1個、ホースエルボ1個仕様【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置