出力A/B/Z相電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)分解能(μm)最高0.5測定範囲(mm)10精度(μm)2p-p(20℃にて)測定力(N)上方位0.3±0.25、横方位0.6±0.3、下方位0.8±0.35最大応答速度(m/min)250耐振動(m/s2)150(10～2000Hz)耐衝撃(m/s2)1500(11ms)保護等級IP50使用温度範囲(℃)0～50(結露無き事)保存温度範囲(℃)-20～60電源電圧(V)DC5±5%消費電力(W)1以下ケーブル長(m)約2.5(出力)ステム径(Φmm)20質量(g)約230測定子超硬球面付 DZ-122 (取付ねじM2.5)付属品+PM4×5ねじ(2本)、取扱説明書仕様【原点位置】一箇所(スピンドル移動1mm±0.5mmの位置にて)
