出力A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)分解能(μm)0.5測定範囲(mm)5精度(μm)1.5p-p測定力(N)上方位 ： 0.35 ±0.25、横方位 ： 0.40 ±0.25、下方位 ： 0.45 ±0.25最大応答速度(m/min)250(100)耐振動(m/s2)100(20～2000Hz)耐衝撃(m/s2)1000(11ms)保護等級ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※)使用温度範囲(℃)0～50(結露無き事)電源電圧(V)DC5±5%消費電力(W)1ケーブル長(m)2.5(出力)質量(g)約30測定子スチール球面付 取付ねじM2.5付属品取扱説明書1部、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウエーブワッシャ、スパナ1個、補足説明書1部。ホースエルボ1個、ホースエルボ1個駆動方式【スピンドル】バネ押出し保存温湿度範囲-20～60℃/90%RH以下仕様【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
