- 出力
- A/B/原点 電圧差動型ラインドライバ出力 (EIA-422に準拠)
- 分解能(μm)
- 0.5
- 測定範囲(mm)
- 12
- 精度(μm)
- 1.5p-p
- 測定力(N)
- 上方位：0.4±0.3・0.6±0.5(空気圧押出しタイプ)、横方位：0.5±0.3・0.7±0.5(空気圧押出しタイプ)、下方位：0.6±0.3・0.8±0.5(空気圧押出しタイプ)※空気圧：0.055MPaの時
- 最大応答速度(m/min)
- 250
- 耐振動(m/s2)
- 100(20～2000Hz)
- 耐衝撃(m/s2)
- 1000(11ms)
- 保護等級
- ストレートタイプ：IP67、ライトアングルタイプ：IP64 (IP67 ※)
- 使用温度範囲(℃)
- 0～50(結露無き事)
- 電源電圧(V)
- DC5±5%
- 消費電力(W)
- 1
- ケーブル長(m)
- 2.5(出力)
- 質量(g)
- 約30
- 測定子
- スチール球面付 取付ねじM2.5
- 付属品
- 取扱説明書、+P M4×5ねじ2本、締付けナット、クランプスパナ、ウェーブワッシャ、取付用ピン各1個、ホースエルボ1個、スパナ1個
- 駆動方式
- 【スピンドル】バネ押出し/真空引き込み
- 保存温湿度範囲
- -20～60℃/90%RH以下
- 仕様
- 【原点位置】スピンドル移動1mm±0.5mmの位置
