XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±7.5ストローク(Y距離)(mm)±7.5種類xyステージテーブル長さ(mm)30テーブル幅(mm)30耐荷重(N)14.7送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)0.32表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0005センサーリミットセンサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC分解能0.001mm適合ケーブルACB-STS2RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.008使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)送りねじリード(mm)0.5位置決め精度(mm)0.015ロストモーション(mm)0.0005最高速度(mm/s)8(8000pps時)材質(テーブル)アルミ合金