XY直交度(mm)0.006ストローク(X距離)(mm)±15ストローク(Y距離)(mm)±15種類xyステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)39.2送り方式送りねじ移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)仕様精密ねじ仕様(標準型)質量(kg)1.2表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0005センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.001mm平行度(mm)運動/0.03適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.12、ピッチ剛性：0.16、ロール剛性：0.16使用モータPK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)0.5位置決め精度(mm)0.016ロストモーション(mm)0.005最高速度(mm/s)8(8000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
