XY直交度(mm)0.006ストローク(X距離)(mm)±15ストローク(Y距離)(mm)±15種類xyステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)100耐荷重(N)157送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ仕様(送りねじ)ボールねじ質量(kg)7表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装繰返し精度(mm)±0.0005センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.0007モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.2、ピッチ剛性：0.15、ロール剛性：0.15使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.002ロストモーション(mm)0.0005最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)鋼材
