XY直交度(mm)0.06ストローク(X距離)(mm)±30ストローク(Y距離)(mm)±30種類xyステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)78.4送り方式送りねじ移動ガイドボールブッシュ仕様(送りねじ)ボールねじ質量(kg)5表面処理(テーブル)白アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.003センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm適合ケーブルACB-BTD2・ACB-BTD3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.05使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)(無負荷時)0.05、(4kg負荷時)0.15ロストモーション(mm)0.01最高速度(mm/s)16(8000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
