ストローク(Z距離)(mm)0～20種類Zステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)49送り方式送りねじ移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)1.9表面処理(テーブル)白アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.0008センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.001mm平行度(mm)0.08適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.6、ピッチ剛性：0.6、ロール剛性：0.05使用モータPK543NBW相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.01ロストモーション(mm)0.001最高速度(mm/s)5(5000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
