- ストローク(Z距離)(mm)
- ±100
- 質量(kg)
- 17
- 種類
- Zステージ
- 表面処理
- (テーブル)白アルマイト梨地
- 繰返し精度(mm)
- ±0.002
- センサー
- 原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
- 分解能
- 0.004mm
- 適合ケーブル
- ACB-STD2、ACB-STD3
- 耐荷重(N)
- 78.4
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- Z軸1方向
- 送り方式
- 送りねじ
- 移動ガイド
- ボールウェイ
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.01、ヨーイング30sec、ピッチング50sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性:0.03、ピッチ剛性:0.5、ロール剛性:0.4
- 使用モータ
- PK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
- 送りねじリード(mm)
- 2
- 位置決め精度(mm)
- 0.02
- ロストモーション(mm)
- 0.002
- 最高速度(mm/s)
- 20(5000pps時)
- テーブル幅(mm)
- 200
- テーブル長さ(mm)
- 200
- 材質(テーブル)
- アルミ合金