ストローク(Z距離)(mm)±30種類Zステージテーブル長さ(mm)90テーブル幅(mm)90耐荷重(N)49送り方式送りねじ移動ガイドボールブッシュ質量(kg)3.1表面処理(テーブル)白アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.003センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.002mm適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.015使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)1位置決め精度(mm)0.03ロストモーション(mm)0.01最高速度(mm/s)10(5000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
