- ストローク(Z距離)(mm)
- ±3
- 種類
- Zステージ
- テーブル長さ(mm)
- 50
- テーブル幅(mm)
- 50
- 耐荷重(N)
- 49
- 送り方式
- MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
- 移動ガイド
- HG-VCR(V溝とクロスローラ)
- 感度
- 0.001mm
- クランプ
- 操作側板クランプ
- 操作位置
- サイド
- 質量(kg)
- 0.45
- 目量
- マイクロメータ式0.002mm
- 材質/処理
- (テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- Z軸1方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02
- 許容モーメント荷重(N・cm)
- ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800
- 垂直度(mm)
- 0.065、運動の垂直度：0.025
- 移動量
- (ツマミ1回転)0.1mm
