- ストローク(Z距離)(mm)
- ±3
- 種類
- Zステージ
- テーブル長さ(mm)
- 60
- テーブル幅(mm)
- 60
- 耐荷重(N)
- 19.6
- 送り方式
- MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
- 移動ガイド
- HG-VCR(V溝とクロスローラ)
- 感度
- 0.001mm
- 操作位置
- センター
- 移動量
- (ツマミ1回転)0.1mm
- 質量(kg)
- 0.44
- クランプ
- 板クランプ
- 目量
- マイクロメータ式0.002mm
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- Z軸1方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性 0.05、ピッチ剛性 0.20、ロール剛性 0.20
- 垂直度(mm)
- 0.080、運動の垂直度：0.030
