ウェハホルダ 4，5，6インチ用

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。