XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±12.5ストローク(Y距離)(mm)±12.5ストローク(Z距離)(mm)0～10種類xyzステージ/回転ステージ耐荷重(N)29.4送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)移動ガイド(XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式操作位置(XY軸)逆サイド質量(kg)6.6感度(XYZ軸)0.003mmクランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.008°)材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応ステージ寸法(mm)Φ125移動方向XYZ回転4方向移動精度(mm)真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.03移動量(°)粗動360・微動±5移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.39°
