- XY直交度(mm)
- 0.02
- ストローク(X距離)(mm)
- ±12.5
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±12.5
- ストローク(Z距離)(mm)
- 0～10
- 操作位置
- (XY軸)逆サイド
- 質量(kg)
- 6.6
- 種類
- xyzステージ/回転ステージ
- 感度
- (XYZ軸)0.003mm
- クランプ
- (XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
- 目量
- (XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.008°)
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- 耐荷重(N)
- 29.4
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- ステージ寸法(mm)
- Φ125
- 移動方向
- XYZ回転4方向
- 送り方式
- (XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM、(回転軸)CEH-13R (各軸標準マイクロメータ)
- 移動ガイド
- (XY軸)V溝とクロスローラ、(Z軸)V溝レールと鋼球、(回転軸)すり合わせ式
- 移動精度(mm)
- 真直度(XY軸)0.003、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.05、面振れ(回転軸)0.03
- 移動量(°)
- 粗動360・微動±5
- 移動量
- (ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.39°
