フロリナート(フッ素系不活性液体)のレビュー

優れた電気絶縁性と熱特性を有します。高温、低温を問わずほとんどの溶剤に溶解しません。熱的化学的に安定性が高い。各種部材との適合性に優れる。表面張力、粘度が低い。非危険物、不燃性、実用上無毒、無臭で安全性が高い。オゾン破壊係数がゼロ。 【用途】半導体製造装置の熱媒体・ブラインに。化学合成や環境試験室などの低温冷却。電子機器の絶縁冷却。